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研討會論文
學年度100
論文類型海報展示
論文名稱(篇名)SOI Process and Stability Measurements of SCS Scanning Micromirror
會議名稱HARMST 2011
會議開始時間2011-06-12
會議結束時間2011-06-18
發表年度2011
作者中文名陳宗明
全部作者T. Chen, J. Brunne and U. Wallrabe
著作人數3
作者型態First Author / Corresponding Author
會議地點Hsinchu, Taiwan
使用語言英文
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